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基础信息Product information
产品名称:

双光束激光干涉仪/其他

产品型号:

厂商性质:生产厂家

所在地:北京市

更新日期:2023-06-28

产品概况:

双光束激光干涉仪用于压电薄膜的蝴蝶曲线和纵向压电系数d33的测试。双光束激光干涉仪/其他

产品特性Product characteristics
品牌华测

双光束激光干涉仪用于压电薄膜的蝴蝶曲线和纵向压电系数d33的测试。
半自动的系统用于8"晶圆上的MEMS器件的压电性和电性相关性能的测试。
大量样品测试的重复精度可达2%以上。

测试功能:
机电大信号应变、极化、压电系数、小信号介电常数。
疲劳和电性及机械性能可靠性。

样品测试:
极化曲线和位移曲线。
小信号电容及压电系数。

技术参数:
分辨率: ≤1 pm(X晶向的石英)
测量范围:5pm- +/- 25nm
波长:632.8nm
位移/应力测试:>50Hz,小1Hz分辨率,100mV到10V(可选到200V)
压电d33系数:
 基电压100mV到10V(1mHz到1Hz),可选到200V
 小信号100mV到10V(1kHz到5kHz)
C-V测试:
 基电压100mV到10V(1mHz到1Hz),可选到200V
小信号100mV到10V(1kHz到5kHz)

企业主营产品:
几大系列:先进功能材料电学综合测试系统、绝缘诊断测试系统、高低温介电温谱测试仪、极化装置与电源、高压放大器、PVDV薄膜极化、高低温冷热台、铁电压电热释电测试仪、绝缘材料电学性能综合测试平台、电击穿强度试验仪、耐电弧试验仪、高压漏电起痕测试仪、冲击电压试验仪、储能材料电学测控系统、压电传感器测控系统。



双光束激光干涉仪/其他

双光束激光干涉仪/其他


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