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Huace-4简易探针台的产品特点及应用

日期:2023-09-12浏览:602次

Huace-4简易探针台

产品概况:

探针台是一种辅助实行机构,测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台(chuck)上,在显微镜配合下,X-Y移动器件,找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮,控制前部探针(射频或直流探针),精准扎到被测点,从而使其讯号线与外部测试机导通,通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。

产品特点及应用:

◆ 满足I-V/C-V,PIV测试,光电测试等;

◆ 可用于6英寸以内样品测试;

◆ 同轴丝杠传动结构,线性移动;

◆ 可放置于手套箱内使用;

◆ 形状轻巧,操作方便,价格实惠。

技术参数

台体规格

尺寸

4英寸/6英寸

水平旋转

360°旋转,可微调15°,精度0.1°,带角度锁死装置

X-Y移动行程

2英寸×3英寸

X-Y移动精度

10μm

样品台Z轴调节

可升降10mm

样品固定

真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附环

针座平台

左右各一个针座平台,**可放置6个探针座

背电极测试

样品台电学独立悬空,4mm插孔可接背电极

外形尺寸

400mm长*380mm宽*500mm高

设备重量

20KG

光学系统

显微镜类型

单筒显微镜/体式显微镜

放大倍率

16X-200X

移动行程

水平方向绕立柱360°旋转,Z轴50.8毫米

光源

外置LED无极调节亮度环形光源

CCD

200万像素/500万像素/1200万像素


定位器

X-Y-Z移动行程

12mm*12mm*12mm

移动精度

10μm/2μm/0.7μm/0.5μm

吸附方式

磁力吸附,真空吸附

线缆

同轴线/三轴线

漏电精度

10pA/100fA/10fA

固定探针

弹簧固定/管状固定

接头类型

BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

针尖直径

0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm

针尖材质

钨钢;铍铜

可选附件:

加热台;
显示器;
转接头;
射频测试配件;

屏蔽箱;

光学平台;
镀金卡盘;
光电测试配件;




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